中国科学院半导体研究所2024年5至12月政府采购意向-电子束蒸发设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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中国科学院半导体研究所2024年5至12月政府采购意向-电子束蒸发设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 电子束蒸发设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 半导体研究所2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发设备 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发设备广泛应用于金属电极、刻蚀掩膜以及反射镜等所需金属薄膜的制备，是半导体光电子、微电子、MEMS器件制备中的重要基础工艺设备。本次拟采购的电子束蒸发在设备极限真空、薄膜均匀性以及薄膜台阶覆盖性方面都具备较强的技术优势，是平台现有设备的重要补充，通过本次设备的购置，增加电子束蒸发工艺的加工能力。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束蒸发设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 半导体研究所2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发设备 |
| 预算金额： | 195.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 电子束蒸发设备广泛应用于金属电极、刻蚀掩膜以及反射镜等所需金属薄膜的制备，是半导体光电子、微电子、MEMS器件制备中的重要基础工艺设备。本次拟采购的电子束蒸发在设备极限真空、薄膜均匀性以及薄膜台阶覆盖性方面都具备较强的技术优势，是平台现有设备的重要补充，通过本次设备的购置，增加电子束蒸发工艺的加工能力。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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