北京理工大学2024年5至7月政府采购意向-全自动RCA清洗设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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北京理工大学2024年5至7月政府采购意向-全自动RCA清洗设备电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 全自动RCA清洗设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年5至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 全自动RCA清洗设备 |
| 预算金额： | 240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购数量1台，主要功能是对4寸、6寸晶圆进行有机污染物、金属颗粒等进行清洗，配备完善的报警和保护设计，排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁，工艺流程：上料--1#SPM--2#HQDR--3#*-4#QDR--5#*-6#QDR--下料，排风平均风速：不低于0.35m/s，有效去除基片表面颗粒，≥0.2μm particle≤20粒；金属离子≤5E9 atoms/cm2，自动配液；定量补液；local cds供液；温度控制：SPM（130℃±1℃）；SC1（70℃±0.5℃）；SC2（70℃±0.5℃）。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动RCA清洗设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年5至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 全自动RCA清洗设备 |
| 预算金额： | 240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购数量1台，主要功能是对4寸、6寸晶圆进行有机污染物、金属颗粒等进行清洗，配备完善的报警和保护设计，排风压力、液位、排液均有硬件或软件互锁，工艺流程：上料--1#SPM--2#HQDR--3#*-4#QDR--5#*-6#QDR--下料，排风平均风速：不低于0.35m/s，有效去除基片表面颗粒，≥0.2μm particle≤20粒；金属离子≤5E9 atoms/cm2，自动配液；定量补液；local cds供液；温度控制：SPM（130℃±1℃）；SC1（70℃±0.5℃）；SC2（70℃±0.5℃）。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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