北京理工大学2024年5至7月政府采购意向-AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备其他仪器仪表-预算金额万元人民币
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北京理工大学2024年5至7月政府采购意向-AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备其他仪器仪表-预算金额万元人民币
| AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年5至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备 |
| 预算金额： | 3240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1/拟新增一套多功能AFM+SEM原位同步联用系统，用于微纳加工、芯片制造、新能源材料样品的高精度综合表征。2/拟新增一套无掩膜深硅刻蚀检测一体化系统，通过刻蚀后实时测量刻蚀结果表面形貌和力学特性，也可实现溶液下的纳米刻蚀和测量。3/拟新增一套中电流离子注入设备，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，克服了常规工艺的限制。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年5至7月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | AFM+SEM同步联用系统无掩膜深硅刻蚀检测系统中电流离子注入设备 |
| 预算金额： | 3240.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 1/拟新增一套多功能AFM+SEM原位同步联用系统，用于微纳加工、芯片制造、新能源材料样品的高精度综合表征。2/拟新增一套无掩膜深硅刻蚀检测一体化系统，通过刻蚀后实时测量刻蚀结果表面形貌和力学特性，也可实现溶液下的纳米刻蚀和测量。3/拟新增一套中电流离子注入设备，可以满足浅结、低温和精确控制等要求，克服了常规工艺的限制。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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