A*激光仪器

1、激 (略) 系统需 (略) 切换、传输、方向控制、聚焦、激光与电子束时间-空间对准的测量和调整以及光斑位置在线监测等功能， (略) 系统大部分位于真空腔室中，因此需要购置高精度真空运动控制器、高精度真空光学调整架等等真空环境中光机设备；2.高精度真空运动控制器及光学机械调节设备配置包括：高真空1英寸压电促动器20个、1&0.5英寸压电旋转调节架2个、4英寸电动反射镜调整架2个、短程真空电动促动器5个、长程真空电动线性位移台4个、运动控制器及光学机械调节设备的配套控制器1套；（主要技术指标要求如下，真空兼容性： 短程真空促动器和长程真空电动线性位移台的真空兼容性为10-6 Torr，高真空1英寸压电促动器和4英寸电动反射镜架的真空兼容性为10-8 Torr；高真空1英寸行程压电促动器主要技术要求：促动器行程范围：0~25.4 mm；1&0.5英寸压电旋转调节架主要技术要求：支持光学元件直径：25.4 mm&12.7 mm；4英寸电动反射镜调整架主要技术要求：支持光学元件直径：101.6 mm且电动轴为2个；短程真空电动促动器主要技术要求：行程范围：0~50 mm；长程真空电动线性位移台主要技术要求：行程范围：0~150 mm；

A*激光仪器

1、激 (略) 系统需 (略) 切换、传输、方向控制、聚焦、激光与电子束时间-空间对准的测量和调整以及光斑位置在线监测等功能， (略) 系统大部分位于真空腔室中，因此需要购置高精度真空运动控制器、高精度真空光学调整架等等真空环境中光机设备；2.高精度真空运动控制器及光学机械调节设备配置包括：高真空1英寸压电促动器20个、1&0.5英寸压电旋转调节架2个、4英寸电动反射镜调整架2个、短程真空电动促动器5个、长程真空电动线性位移台4个、运动控制器及光学机械调节设备的配套控制器1套；（主要技术指标要求如下，真空兼容性： 短程真空促动器和长程真空电动线性位移台的真空兼容性为10-6 Torr，高真空1英寸压电促动器和4英寸电动反射镜架的真空兼容性为10-8 Torr；高真空1英寸行程压电促动器主要技术要求：促动器行程范围：0~25.4 mm；1&0.5英寸压电旋转调节架主要技术要求：支持光学元件直径：25.4 mm&12.7 mm；4英寸电动反射镜调整架主要技术要求：支持光学元件直径：101.6 mm且电动轴为2个；短程真空电动促动器主要技术要求：行程范围：0~50 mm；长程真空电动线性位移台主要技术要求：行程范围：0~150 mm；