中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-反应离子刻蚀机工艺试验机-预算金额万元人民币
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中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-反应离子刻蚀机工艺试验机-预算金额万元人民币
| 反应离子刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀机 |
| 预算金额： | 266.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 反应离子刻蚀机广泛应用于半导体器件、电力电子器件、光电子、太阳能电池、微机械等领域。是微米纳米器件制备的必备设备。随着大规 (略) 制造朝着更高集成度、更小关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展，对刻蚀工艺的精度要求越来越高，所以湿法刻蚀的图形保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等不适用于小尺寸器件刻蚀工艺，而RIE刻蚀具有很好的各向同性，可以加工更加精密的器件，能够保证细小图形转移后的保真性，同时根据不同工艺要求，通过改变刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等能够很好的控制侧壁的粗糙度、陡直度、刻蚀速率等，因此，RIE刻蚀机对微纳器件制备至关重要。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 反应离子刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 反应离子刻蚀机 |
| 预算金额： | 266.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 反应离子刻蚀机广泛应用于半导体器件、电力电子器件、光电子、太阳能电池、微机械等领域。是微米纳米器件制备的必备设备。随着大规 (略) 制造朝着更高集成度、更小关键尺寸以及更大晶圆半径的方向发展，对刻蚀工艺的精度要求越来越高，所以湿法刻蚀的图形保真性不理想、刻蚀线宽难以控制、表面粗糙等不适用于小尺寸器件刻蚀工艺，而RIE刻蚀具有很好的各向同性，可以加工更加精密的器件，能够保证细小图形转移后的保真性，同时根据不同工艺要求，通过改变刻蚀气体比例、真空室内部压强、射频功率、温度等能够很好的控制侧壁的粗糙度、陡直度、刻蚀速率等，因此，RIE刻蚀机对微纳器件制备至关重要。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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