中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-单晶圆清洗设备工艺试验机-预算金额万元人民币
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中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-单晶圆清洗设备工艺试验机-预算金额万元人民币
| 单晶圆清洗设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 单晶圆清洗设备 |
| 预算金额： | 137.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 高质量的晶圆清洗是实现光子芯片制备的前提条件，每个晶片在整个制造过程中需要十余道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要以及富有挑战性，采用小型手动清洗设备，无法保证晶圆的清洁，验证影响光子芯片的制造。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 单晶圆清洗设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 单晶圆清洗设备 |
| 预算金额： | 137.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况： | 高质量的晶圆清洗是实现光子芯片制备的前提条件，每个晶片在整个制造过程中需要十余道清洗步骤，晶圆清洗变得更加复杂、重要以及富有挑战性，采用小型手动清洗设备，无法保证晶圆的清洁，验证影响光子芯片的制造。 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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