中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-感应耦合等离子刻蚀设备其他金属加工设备-预算金额万元人民币
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中国科学院西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向-感应耦合等离子刻蚀设备其他金属加工设备-预算金额万元人民币
| 感应耦合等离子刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子刻蚀设备 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他金属加工设备 |
| 采购需求概况： | 目前西安光机所承担了多项与光子集成芯片相关的国家重点项目，如重点研发计划、JW重点和基础加强项目等，对光子芯片的性能提出了苛刻的要求，如片上光学谐振腔的品质因子大于1×108等。项目技术指标无法使用现有成熟的工艺进行加工， (略) 以加快工艺迭代，实现光子芯片制备工艺的快速改进。 (略) 尚缺少先进的刻蚀设备。ICP刻蚀机是一种高度先进的等离子体刻蚀设备，通过射频电流流经线圈在腔室内产生电磁场激发气体产生等离子体，对待刻蚀材料进行离子轰击实现器件结构的加工。ICP刻蚀机具有多种调控手段对工艺进行调控，具有高精度、高分辨率、高刻蚀速率、良好的方向性、高选择性、材料适应性强、良好的复制性和高度集成等优势，这些优势使得ICP刻蚀机在光芯片加工中具有显著的竞争优势，为实现高性能、高可靠性和高集成度的光芯片制造提供了关键支持。目前本单位无同类型仪器设备 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 感应耦合等离子刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 西安光学精密机械研究所2024年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 西安光学精密机械研究所 |
| 采购项目名称： | 感应耦合等离子刻蚀设备 |
| 预算金额： | 390.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他金属加工设备 |
| 采购需求概况： | 目前西安光机所承担了多项与光子集成芯片相关的国家重点项目，如重点研发计划、JW重点和基础加强项目等，对光子芯片的性能提出了苛刻的要求，如片上光学谐振腔的品质因子大于1×108等。项目技术指标无法使用现有成熟的工艺进行加工， (略) 以加快工艺迭代，实现光子芯片制备工艺的快速改进。 (略) 尚缺少先进的刻蚀设备。ICP刻蚀机是一种高度先进的等离子体刻蚀设备，通过射频电流流经线圈在腔室内产生电磁场激发气体产生等离子体，对待刻蚀材料进行离子轰击实现器件结构的加工。ICP刻蚀机具有多种调控手段对工艺进行调控，具有高精度、高分辨率、高刻蚀速率、良好的方向性、高选择性、材料适应性强、良好的复制性和高度集成等优势，这些优势使得ICP刻蚀机在光芯片加工中具有显著的竞争优势，为实现高性能、高可靠性和高集成度的光芯片制造提供了关键支持。目前本单位无同类型仪器设备 |
| 预计采购时间： | 2024-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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