上海交通大学2024年6月政府采购意向-薄膜等离子快速消除机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
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上海交通大学2024年6月政府采购意向-薄膜等离子快速消除机电子工业生产设备-预算金额万元人民币
| 薄膜等离子快速消除机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 薄膜等离子快速消除机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 薄膜等离子快速消除机，1台，用于纳米至微米级的薄膜表面上指定区域深度的可控刻蚀，能够在薄膜表面形成纳微米级图案，并提供器件的工艺可靠性和稳定性分析。刻蚀功率：RF > 600 W，ICP > 2 kW，且连续可调；刻蚀速率：>10 nm/min，且连续可调；均匀性：8英寸范围内±5%；真空腔室整体漏率优于1 mTorr/min。具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，8个月货到指定地点并安装验收完毕。（包括供货、安装、调试、验收合格所需时间）。具体事宜由成交供货商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 薄膜等离子快速消除机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 薄膜等离子快速消除机 |
| 预算金额： | 450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*电子工业生产设备 |
| 采购需求概况： | 薄膜等离子快速消除机，1台，用于纳米至微米级的薄膜表面上指定区域深度的可控刻蚀，能够在薄膜表面形成纳微米级图案，并提供器件的工艺可靠性和稳定性分析。刻蚀功率：RF > 600 W，ICP > 2 kW，且连续可调；刻蚀速率：>10 nm/min，且连续可调；均匀性：8英寸范围内±5%；真空腔室整体漏率优于1 mTorr/min。具体要求详见采购文件。供货期：签订合同之日起，8个月货到指定地点并安装验收完毕。（包括供货、安装、调试、验收合格所需时间）。具体事宜由成交供货商按照采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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