上海科技大学2024年06月政府采购意向-异型腔超高真空系统
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上海科技大学2024年06月政府采购意向-异型腔超高真空系统
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 异型腔超高真空系统 | 名称：异型腔超高真空系统 该系统是高能脉冲磁控溅射系统的关键真空部件，其主要包括真空腔部分、真空获得系统、以及多种异性实验腔体。由于该系统属于定制型仪器，也没有现成的商业产品可供直接购置。其功能主要是使腔体实现高真空状态并及进行测量。 配置实验腔主要用于薄膜生长条件探索，包括单cell和特斯拉型9cell无氧铜腔实验腔，9cell特斯拉型不锈钢实验腔。阴极端子、阴极、气体（Kr气）流量阀、UHV闸板阀、电缆（阴极同轴线、线圈电缆）、配电箱（机组、线圈电源、放电电源单独接空气开关）、接地保护等。其中真空腔的设计要求极限真空度≤5×10-8 Pa，实验腔可加热至650℃。 采购数量：1台 | *.00 | 2024-06 |
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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
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| 1 | 异型腔超高真空系统 | 名称：异型腔超高真空系统 该系统是高能脉冲磁控溅射系统的关键真空部件，其主要包括真空腔部分、真空获得系统、以及多种异性实验腔体。由于该系统属于定制型仪器，也没有现成的商业产品可供直接购置。其功能主要是使腔体实现高真空状态并及进行测量。 配置实验腔主要用于薄膜生长条件探索，包括单cell和特斯拉型9cell无氧铜腔实验腔，9cell特斯拉型不锈钢实验腔。阴极端子、阴极、气体（Kr气）流量阀、UHV闸板阀、电缆（阴极同轴线、线圈电缆）、配电箱（机组、线圈电源、放电电源单独接空气开关）、接地保护等。其中真空腔的设计要求极限真空度≤5×10-8 Pa，实验腔可加热至650℃。 采购数量：1台 | *.00 | 2024-06 |
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