快速热退火真空应用设备-预算金额万元人民币招标预告
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快速热退火真空应用设备-预算金额万元人民币招标预告
| 快速热退火 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 快速热退火 |
| 预算金额： | 115.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 1)设备最大工艺片尺寸：≤8寸晶圆 2)典型工艺温度范围：300度-1150度 3)升温速率：硅衬底10-100度/秒(可编程) 4)降温速率：硅衬底 10-100度/秒 5)温度控制重复性：≤±1℃（在温度为1150℃，测量5片） 6)温度测量计包括高温计和热电偶的精确度：±1℃（100度-1150度） 7)温度控制均匀性：≤5% 通过5点RS测量 8)不能有过冲和下冲的现象，温度过冲和下冲：≤±1℃ 9）免费质保期≥1年 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | 以采购文件发布为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 快速热退火 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr*年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr* |
| 采购项目名称： | 快速热退火 |
| 预算金额： | 115.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 1)设备最大工艺片尺寸：≤8寸晶圆 2)典型工艺温度范围：300度-1150度 3)升温速率：硅衬底10-100度/秒(可编程) 4)降温速率：硅衬底 10-100度/秒 5)温度控制重复性：≤±1℃（在温度为1150℃，测量5片） 6)温度测量计包括高温计和热电偶的精确度：±1℃（100度-1150度） 7)温度控制均匀性：≤5% 通过5点RS测量 8)不能有过冲和下冲的现象，温度过冲和下冲：≤±1℃ 9）免费质保期≥1年 |
| 预计采购时间： | 2024-06 |
| 备注： | 以采购文件发布为准 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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