工业和信息化部电子第五研究所2024年5至12月政府采购意向-双束聚焦离子束系统物理特性分析仪器及校准-预算金额万元人民币
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工业和信息化部电子第五研究所2024年5至12月政府采购意向-双束聚焦离子束系统物理特性分析仪器及校准-预算金额万元人民币
| 双束聚焦离子束系统 | |
| 项目所在采购意向： | 工业和信息化部电子第五研究所2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 采购项目名称： | 双束聚焦离子束系统 |
| 预算金额： | 740.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*物理特性分析仪器及校准仪器 |
| 采购需求概况： | 1、离子束系统：（1）交叉点分辨率：4.*@*0kV；（2）束流强度：1pA-65nA；2、电子束分辨率≤0.*@*5kV；3、马达驱动样品台：X、Y方向移动范围不低于110mm，回复精度小于3微米（0度）；4、纳米机械手、漂移：≤50nm/min，样品纳米机械手软件集成在双束显微镜中；5、能量分辨率：Mn Ka优于127eV，元素分析范围：* |
| 预计采购时间： | 2024-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 双束聚焦离子束系统 | |
| 项目所在采购意向： | 工业和信息化部电子第五研究所2024年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 工业和信息化部电子第五研究所 |
| 采购项目名称： | 双束聚焦离子束系统 |
| 预算金额： | 740.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*物理特性分析仪器及校准仪器 |
| 采购需求概况： | 1、离子束系统：（1）交叉点分辨率：4.*@*0kV；（2）束流强度：1pA-65nA；2、电子束分辨率≤0.*@*5kV；3、马达驱动样品台：X、Y方向移动范围不低于110mm，回复精度小于3微米（0度）；4、纳米机械手、漂移：≤50nm/min，样品纳米机械手软件集成在双束显微镜中；5、能量分辨率：Mn Ka优于127eV，元素分析范围：* |
| 预计采购时间： | 2024-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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