中山大学2024年9月政府采购意向-中山大学柔性电子学院真空镀膜设备采购项目真空应用设备-预算金额万元人民币
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中山大学2024年9月政府采购意向-中山大学柔性电子学院真空镀膜设备采购项目真空应用设备-预算金额万元人民币
| 中山大学 (略) 真空镀膜设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2024年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学 (略) 真空镀膜设备采购项目 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 真空镀膜设备，数量：1套。技术要求：①全不锈钢腔体（SUS316L),满足超高真空系统，主真空室极限真空度5E-9 Torr；②可做样品尺寸为4英寸,弹簧式固定样品托机构；③配有坩埚（根据客户要求制定）；④具有可升级激光加热(加热至1000℃以上)系统的技术；⑤配有分子泵+气动闸板阀，氮气抽速：大于等于685L/S；⑥样品低温：冰水冷却，360度旋转，具有XYZ stage，y轴调整距离12.5mm,Z轴调整距离100mm(working distance 50 to 60cm,50cm为传输点）；⑦配有全自动传样样品传输杆；⑧控制功能：蒸镀过程三段预融模式、离子铣过程控制、真空获得控制互锁保护、样品控制等。包含手动控制模式及自动工艺模式，并包含水流保护及报警功能。⑨配有考夫曼Kdc40离子源。交付时间要求：2024年11月30日前，售后服务要求：整机免费保修2年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。 |
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 中山大学 (略) 真空镀膜设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2024年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 中山大学 (略) 真空镀膜设备采购项目 |
| 预算金额： | 100.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 真空镀膜设备，数量：1套。技术要求：①全不锈钢腔体（SUS316L),满足超高真空系统，主真空室极限真空度5E-9 Torr；②可做样品尺寸为4英寸,弹簧式固定样品托机构；③配有坩埚（根据客户要求制定）；④具有可升级激光加热(加热至1000℃以上)系统的技术；⑤配有分子泵+气动闸板阀，氮气抽速：大于等于685L/S；⑥样品低温：冰水冷却，360度旋转，具有XYZ stage，y轴调整距离12.5mm,Z轴调整距离100mm(working distance 50 to 60cm,50cm为传输点）；⑦配有全自动传样样品传输杆；⑧控制功能：蒸镀过程三段预融模式、离子铣过程控制、真空获得控制互锁保护、样品控制等。包含手动控制模式及自动工艺模式，并包含水流保护及报警功能。⑨配有考夫曼Kdc40离子源。交付时间要求：2024年11月30日前，售后服务要求：整机免费保修2年以上（含软件升级），包含设备培训，培训时间>5小时，售后响应时间24h内。 |
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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