广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向-采招网

广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

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广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

发布机构：发布时间：** 10:29:15

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年06月至2024年07月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	等离子去胶机采购项目	标的名称：等离子去胶机标的数量：1 主要功能或目标：使用等离子体对残留在晶圆表面的的光刻胶等黏附物质进行去除。需满足的要求：1.传片系统、供气系统、低温与常温两种去胶工艺腔、RF射频源、Chiller/Pump；要求适用于8inch晶圆。2.供气系统： 1）气路≥5路；配备过滤器、手动隔膜阀； 2）RF射频源：配备（偏置）射频发生器、匹配器；3.低温与常温去胶工艺腔：去胶效果均要求片内、片间批间的均匀性<5%；微粒（> 0.2μm）增加量<30ea；4.工艺稳定性： 1）电源输出功率、温度稳定且在一定范围内可调；	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	2,500,000.00	2024年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制 (略)

**日

无此项目相关公告

广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

发布机构：发布时间：** 10:29:15

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	等离子去胶机采购项目	标的名称：等离子去胶机标的数量：1 主要功能或目标：使用等离子体对残留在晶圆表面的的光刻胶等黏附物质进行去除。需满足的要求：1.传片系统、供气系统、低温与常温两种去胶工艺腔、RF射频源、Chiller/Pump；要求适用于8inch晶圆。2.供气系统： 1）气路≥5路；配备过滤器、手动隔膜阀； 2）RF射频源：配备（偏置）射频发生器、匹配器；3.低温与常温去胶工艺腔：去胶效果均要求片内、片间批间的均匀性<5%；微粒（> 0.2μm）增加量<30ea；4.工艺稳定性： 1）电源输出功率、温度稳定且在一定范围内可调；	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	2,500,000.00	2024年07月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制 (略)

**日

无此项目相关公告

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