A*真空获得设备

小型真空（镀膜）系统，数量1套， 该设备用于：光学器件表面膜层的加工专用仪器。 技术要求：①镀膜最大元件尺寸：450nm；②镀膜方式：离子辅助电子束热蒸发；③稳定镀膜最大层数：不小于120层；④膜厚控制方式：光学控制+晶体振动控制；⑤真空抽气系统：分子泵，机械泵，罗茨泵；⑥离子源：射频离子源，口径大于17cm；⑦膜厚控制精度：0.1nm； ⑧镀膜真空度：小于1×10-4Pa；⑨加热控制：上烘烤温度最大 300℃，下烘烤温度最大 200℃； ⑩结构形式采用箱式立式前开门，内腔尺寸: φ 1150mm× 1300mm，具有光学观察腔。 交付时间要求：12个月内； 交付地点要求：中山大学·深圳光明校区工学园26-HB1F-02； 售后服务要求（含培训） ：(1)免费整机保修2年，产品质量问题造成的故障需提供保修。(2)对设备管理人员和操作人员进行现场培训，包括了解设备结构、运行工作原理，掌握设备操作规程、设备保养方法、设备安装调试，掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法。

A*真空获得设备

小型真空（镀膜）系统，数量1套， 该设备用于：光学器件表面膜层的加工专用仪器。 技术要求：①镀膜最大元件尺寸：450nm；②镀膜方式：离子辅助电子束热蒸发；③稳定镀膜最大层数：不小于120层；④膜厚控制方式：光学控制+晶体振动控制；⑤真空抽气系统：分子泵，机械泵，罗茨泵；⑥离子源：射频离子源，口径大于17cm；⑦膜厚控制精度：0.1nm； ⑧镀膜真空度：小于1×10-4Pa；⑨加热控制：上烘烤温度最大 300℃，下烘烤温度最大 200℃； ⑩结构形式采用箱式立式前开门，内腔尺寸: φ 1150mm× 1300mm，具有光学观察腔。 交付时间要求：12个月内； 交付地点要求：中山大学·深圳光明校区工学园26-HB1F-02； 售后服务要求（含培训） ：(1)免费整机保修2年，产品质量问题造成的故障需提供保修。(2)对设备管理人员和操作人员进行现场培训，包括了解设备结构、运行工作原理，掌握设备操作规程、设备保养方法、设备安装调试，掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法。