清华大学2024年5至7月政府采购意向-金属干法刻蚀系统详细情况万元人民币

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清华大学2024年5至7月政府采购意向-金属干法刻蚀系统详细情况万元人民币

金属干法刻蚀系统
项目所在采购意向: 清华大学2024年5至7月政府采购意向
采购单位: 清华大学
采购项目名称: 金属干法刻蚀系统
预算金额: 500.*万元(人民币)
采购品目:
A-货物*设备*仪器仪表*试验仪器及装置*其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
采购需求概况应当包括: 1.采购标的名称:金属干法刻蚀系统 2.采购标的需实现的主要功能或者目标:8英寸向下兼容,金属刻蚀速率:≥350nm/min;刻蚀均匀性:≤5% 3.采购标的数量:1 4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)
预计采购时间: 2024-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,清华大学
金属干法刻蚀系统
项目所在采购意向: 清华大学2024年5至7月政府采购意向
采购单位: 清华大学
采购项目名称: 金属干法刻蚀系统
预算金额: 500.*万元(人民币)
采购品目:
A-货物*设备*仪器仪表*试验仪器及装置*其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
采购需求概况应当包括: 1.采购标的名称:金属干法刻蚀系统 2.采购标的需实现的主要功能或者目标:8英寸向下兼容,金属刻蚀速率:≥350nm/min;刻蚀均匀性:≤5% 3.采购标的数量:1 4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:质保期至少1年。售后服务响应不超过24小时(不区分工作日和节假日)
预计采购时间: 2024-05
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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