中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向-低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件详细情况万元人民币
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中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向-低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件详细情况万元人民币
| 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况 ： | 1、ICP、空心阴极、介质阻挡、微放电模拟；2、等离子体刻蚀设备中等离子体特性、中性气体特性和刻蚀轮廓演化模拟；3、等离子体增强化学气相沉积设备中等离子体特性、中性气体特性和镀膜轮廓演化模拟；4、磁控溅射设备中磁场、放电、靶材溅射、靶材粒子输运、镀膜轮廓演化模拟；5、真空设备中的稀薄气体流动模拟；6、刻蚀与沉积工艺特征轮廓模拟； |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 光电技术研究所2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 |
| 预算金额： | 300.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* |
| 采购需求概况 ： | 1、ICP、空心阴极、介质阻挡、微放电模拟；2、等离子体刻蚀设备中等离子体特性、中性气体特性和刻蚀轮廓演化模拟；3、等离子体增强化学气相沉积设备中等离子体特性、中性气体特性和镀膜轮廓演化模拟；4、磁控溅射设备中磁场、放电、靶材溅射、靶材粒子输运、镀膜轮廓演化模拟；5、真空设备中的稀薄气体流动模拟；6、刻蚀与沉积工艺特征轮廓模拟； |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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