中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向

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中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向公开如下：

序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 (略) 光电技术研究所 12英寸涂胶显影一体机 A* 详见项目详情 900.* 2024年08月 详见项目详情
2 (略) 光电技术研究所 12寸场发射扫描电子显微镜 A* 详见项目详情 2085.* 2024年08月 详见项目详情
3 (略) 光电技术研究所 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 A* 详见项目详情 300.* 2024年08月 详见项目详情
4 (略) 光电技术研究所 掩模颗粒检测设备（光学） A* 详见项目详情 2700.* 2024年08月 详见项目详情
5 (略) 光电技术研究所 掩模双面清洗系统 A* 详见项目详情 3400.* 2024年08月 详见项目详情
6 (略) 光电技术研究所 12英寸介质膜层平坦化CMP系统 A* 详见项目详情 2850.* 2024年08月 详见项目详情
7 (略) 光电技术研究所 图形表面形貌真空检测设备 A* 详见项目详情 550.* 2024年08月 详见项目详情
8 (略) 光电技术研究所 晶圆单片刻蚀产物清洗机 A* 详见项目详情 2400.* 2024年08月 详见项目详情
9 (略) 光电技术研究所 原子层沉积设备 A* 详见项目详情 1200.* 2024年08月 详见项目详情
10 (略) 光电技术研究所 电子束缺陷复查设备 A* 详见项目详情 3400.* 2024年08月 详见项目详情
11 (略) 光电技术研究所 微区光谱仪 A* 详见项目详情 440.* 2024年08月 详见项目详情
12 (略) 光电技术研究所 Materials Studio仿真计算软件 A* 详见项目详情 200.* 2024年08月 详见项目详情
13 (略) 光电技术研究所 电子束直写数据处理软件 A* 详见项目详情 100.* 2024年08月 详见项目详情
14 (略) 光电技术研究所 高分辨率掩模CD-SEM A* 详见项目详情 3500.* 2024年08月 详见项目详情
15 (略) 光电技术研究所 掩模图形位置放置误差检测系统 A* 详见项目详情 3550.* 2024年08月 详见项目详情
16 (略) 光电技术研究所 三维微纳结构表面形貌测量系统 A* 详见项目详情 1800.* 2024年08月 详见项目详情
17 (略) 光电技术研究所 缺陷管理软件 A* 详见项目详情 300.* 2024年08月 详见项目详情
18 (略) 光电技术研究所 晶圆背面/边洗设备 A* 详见项目详情 2400.* 2024年08月 详见项目详情
19 (略) 光电技术研究所 单片有机沾污清洗机 A* 详见项目详情 2580.* 2024年08月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

, (略)

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院光电技术研究所2024年8月政府采购意向公开如下：

序号 采购单位 采购项目
名称		 采购品目 采购需求概况 预算金额
(万元)		 预计
采购日期		 备注
1 (略) 光电技术研究所 12英寸涂胶显影一体机 A* 详见项目详情 900.* 2024年08月 详见项目详情
2 (略) 光电技术研究所 12寸场发射扫描电子显微镜 A* 详见项目详情 2085.* 2024年08月 详见项目详情
3 (略) 光电技术研究所 低温稀薄气体等离子体刻蚀模拟软件 A* 详见项目详情 300.* 2024年08月 详见项目详情
4 (略) 光电技术研究所 掩模颗粒检测设备（光学） A* 详见项目详情 2700.* 2024年08月 详见项目详情
5 (略) 光电技术研究所 掩模双面清洗系统 A* 详见项目详情 3400.* 2024年08月 详见项目详情
6 (略) 光电技术研究所 12英寸介质膜层平坦化CMP系统 A* 详见项目详情 2850.* 2024年08月 详见项目详情
7 (略) 光电技术研究所 图形表面形貌真空检测设备 A* 详见项目详情 550.* 2024年08月 详见项目详情
8 (略) 光电技术研究所 晶圆单片刻蚀产物清洗机 A* 详见项目详情 2400.* 2024年08月 详见项目详情
9 (略) 光电技术研究所 原子层沉积设备 A* 详见项目详情 1200.* 2024年08月 详见项目详情
10 (略) 光电技术研究所 电子束缺陷复查设备 A* 详见项目详情 3400.* 2024年08月 详见项目详情
11 (略) 光电技术研究所 微区光谱仪 A* 详见项目详情 440.* 2024年08月 详见项目详情
12 (略) 光电技术研究所 Materials Studio仿真计算软件 A* 详见项目详情 200.* 2024年08月 详见项目详情
13 (略) 光电技术研究所 电子束直写数据处理软件 A* 详见项目详情 100.* 2024年08月 详见项目详情
14 (略) 光电技术研究所 高分辨率掩模CD-SEM A* 详见项目详情 3500.* 2024年08月 详见项目详情
15 (略) 光电技术研究所 掩模图形位置放置误差检测系统 A* 详见项目详情 3550.* 2024年08月 详见项目详情
16 (略) 光电技术研究所 三维微纳结构表面形貌测量系统 A* 详见项目详情 1800.* 2024年08月 详见项目详情
17 (略) 光电技术研究所 缺陷管理软件 A* 详见项目详情 300.* 2024年08月 详见项目详情
18 (略) 光电技术研究所 晶圆背面/边洗设备 A* 详见项目详情 2400.* 2024年08月 详见项目详情
19 (略) 光电技术研究所 单片有机沾污清洗机 A* 详见项目详情 2580.* 2024年08月 详见项目详情

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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