厦门大学2024年8月政府采购意向-全自动热原子层沉积系统详细情况万元人民币
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厦门大学2024年8月政府采购意向-全自动热原子层沉积系统详细情况万元人民币
| 全自动热原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 全自动热原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 全自动热原子层沉积系统主要用于8吋衬底上进行高精度介质膜如Al2O3、HfO2、ZrO？等的薄膜沉积，可实现高深宽比孔/槽的介质膜沉积，薄膜沉积精度可达原子级别。购置1台全自动热原子层沉积系统。通过精确的沉积控制和自动化功能，能够满足半导体、光电子和能源存储等领域科研人员对高精度介质薄膜沉积的需求，符合学科发展需要。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动热原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 全自动热原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 900.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 全自动热原子层沉积系统主要用于8吋衬底上进行高精度介质膜如Al2O3、HfO2、ZrO？等的薄膜沉积，可实现高深宽比孔/槽的介质膜沉积，薄膜沉积精度可达原子级别。购置1台全自动热原子层沉积系统。通过精确的沉积控制和自动化功能，能够满足半导体、光电子和能源存储等领域科研人员对高精度介质薄膜沉积的需求，符合学科发展需要。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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