厦门大学2024年8月政府采购意向-12英寸原子层沉积设备详细情况万元人民币
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厦门大学2024年8月政府采购意向-12英寸原子层沉积设备详细情况万元人民币
| 12英寸原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 12英寸原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 530.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 12英寸原子层沉积设备主要用于大尺寸衬底上进行高精度金属如Cu、Ru等的薄膜沉积，可实现高深宽比孔/槽的金属薄膜沉积，薄膜沉积精度可达原子级别。计划购置1台12英寸原子层沉积设备。此设备购买后能够在大尺寸衬底上实现高精度、高效率的金属薄膜沉积，同时可开设相应的原子层沉积技术原理与操作的教学工作， (略) 整体与学科发展需要，有利于培养学生多方面能力。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 12英寸原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2024年8月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 12英寸原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 530.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 12英寸原子层沉积设备主要用于大尺寸衬底上进行高精度金属如Cu、Ru等的薄膜沉积，可实现高深宽比孔/槽的金属薄膜沉积，薄膜沉积精度可达原子级别。计划购置1台12英寸原子层沉积设备。此设备购买后能够在大尺寸衬底上实现高精度、高效率的金属薄膜沉积，同时可开设相应的原子层沉积技术原理与操作的教学工作， (略) 整体与学科发展需要，有利于培养学生多方面能力。 |
| 预计采购时间： | 2024-08 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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