南京大学2024年8至11月政府采购意向-步进式光刻机涂胶显影系统详细情况万元人民币
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南京大学2024年8至11月政府采购意向-步进式光刻机涂胶显影系统详细情况万元人民币
| 步进式光刻机涂胶显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机涂胶显影系统 |
| 预算金额： | 386.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购步进式光刻机涂胶显影系统一套，要求：8英寸，自动化，实现≥130nm的显影工艺模组(8寸)； 可实现精准的周边曝光功能，Spec:±0.1mm。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 步进式光刻机涂胶显影系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 步进式光刻机涂胶显影系统 |
| 预算金额： | 386.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购步进式光刻机涂胶显影系统一套，要求：8英寸，自动化，实现≥130nm的显影工艺模组(8寸)； 可实现精准的周边曝光功能，Spec:±0.1mm。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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