南京大学2024年8至11月政府采购意向-选择性原子层刻蚀系统详细情况万元人民币
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南京大学2024年8至11月政府采购意向-选择性原子层刻蚀系统详细情况万元人民币
| 选择性原子层刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 选择性原子层刻蚀系统 |
| 预算金额： | 217.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购选择性原子层刻蚀系统一套，要求：1.采用不锈钢和进口铝材制成，腔室直径可放置8英寸晶圆；2.ICP电源和下电极电源，配备基片加热系统；3. (略) (略) ，包 (略) ，以及耐 (略) 的防腐流量计；4.干泵+分子泵+粉尘过滤器，本底真空小于5E-6Torr，真空漏率小于5E-7 Pa·L/S；5.PLC+工控机自动控制系统；6.短轴距设计，包含预真空室和真空机械手，用于基片的传输。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 选择性原子层刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 选择性原子层刻蚀系统 |
| 预算金额： | 217.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购选择性原子层刻蚀系统一套，要求：1.采用不锈钢和进口铝材制成，腔室直径可放置8英寸晶圆；2.ICP电源和下电极电源，配备基片加热系统；3. (略) (略) ，包 (略) ，以及耐 (略) 的防腐流量计；4.干泵+分子泵+粉尘过滤器，本底真空小于5E-6Torr，真空漏率小于5E-7 Pa·L/S；5.PLC+工控机自动控制系统；6.短轴距设计，包含预真空室和真空机械手，用于基片的传输。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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