南京大学2024年8至11月政府采购意向-无图形晶圆检测设备详细情况万元人民币
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南京大学2024年8至11月政府采购意向-无图形晶圆检测设备详细情况万元人民币
| 无图形晶圆检测设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 无图形晶圆检测设备 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 光学仪器检测器具 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购无图形晶圆检测设备一套，要求：支持晶圆尺寸4’’/6’’/8’’；支持晶圆类型Bare SiC/SiC EPI；缺陷类型颗粒，划痕，微管，凹坑，凸起，层错，基平面位错，三角形缺陷，掉落物缺陷，胡萝卜缺陷，台阶聚并等；6’’检测效率＞20WPH (标准分辨率)；暗场DF光源波长320~330nm Laser灵敏度≤100 nm；明场DIC光源波长370~380nm Laser灵敏度≤ 3 nm；荧光PL激发光源320~330nm/370~380nm Laser；收集波长：可同时探测近红外、近紫外、可见光等多波段。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 无图形晶圆检测设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 无图形晶圆检测设备 |
| 预算金额： | 600.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 光学仪器检测器具 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购无图形晶圆检测设备一套，要求：支持晶圆尺寸4’’/6’’/8’’；支持晶圆类型Bare SiC/SiC EPI；缺陷类型颗粒，划痕，微管，凹坑，凸起，层错，基平面位错，三角形缺陷，掉落物缺陷，胡萝卜缺陷，台阶聚并等；6’’检测效率＞20WPH (标准分辨率)；暗场DF光源波长320~330nm Laser灵敏度≤100 nm；明场DIC光源波长370~380nm Laser灵敏度≤ 3 nm；荧光PL激发光源320~330nm/370~380nm Laser；收集波长：可同时探测近红外、近紫外、可见光等多波段。质保期1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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