南京大学2024年8至11月政府采购意向-自旋材料超高真空磁控溅射设备详细情况万元人民币
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南京大学2024年8至11月政府采购意向-自旋材料超高真空磁控溅射设备详细情况万元人民币
| 自旋材料超高真空磁控溅射设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 自旋材料超高真空磁控溅射设备 |
| 预算金额： | 1450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购自旋材料超高真空磁控溅射设备一套，要求：1.具有两个沉积工艺腔室，每个沉积腔集成至少6个3英寸可原位偏转超高真空共溅射靶枪，并预留1个3英寸正溅射靶枪接口。所有靶枪均采用稀土磁铁，磁铁和冷却水隔离；所有靶枪可以承受200℃烘烤和10-11 Torr真空；2.电动控制连续旋转样品台，旋转速率控范围为0~20rpm，样品台上基片最高加热温度800℃，PID温控精度±1℃，具有射频偏压功能；3.在6英寸（去除边缘5mm）的基片范围内薄膜沉积均匀性可达到±1.5%；4.主腔体极限真空优于6.75x10-9 Torr，采用下游压力控制并配1000位阀门。质保期：1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 自旋材料超高真空磁控溅射设备 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2024年8至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 自旋材料超高真空磁控溅射设备 |
| 预算金额： | 1450.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购自旋材料超高真空磁控溅射设备一套，要求：1.具有两个沉积工艺腔室，每个沉积腔集成至少6个3英寸可原位偏转超高真空共溅射靶枪，并预留1个3英寸正溅射靶枪接口。所有靶枪均采用稀土磁铁，磁铁和冷却水隔离；所有靶枪可以承受200℃烘烤和10-11 Torr真空；2.电动控制连续旋转样品台，旋转速率控范围为0~20rpm，样品台上基片最高加热温度800℃，PID温控精度±1℃，具有射频偏压功能；3.在6英寸（去除边缘5mm）的基片范围内薄膜沉积均匀性可达到±1.5%；4.主腔体极限真空优于6.75x10-9 Torr，采用下游压力控制并配1000位阀门。质保期：1年。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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