中国科学院微电子研究所2024年11月政府采购意向-光刻机维修详细情况万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年11月政府采购意向-光刻机维修详细情况万元人民币
| 光刻机维修 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻机维修 |
| 预算金额： | 280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*-其他维修和保养服务 |
| 采购需求概况 ： | 尼康S205C深紫外光刻机为先导中心项目《先进逻辑器件及制造技术》的必要工艺设备。目前该设备因为Wafer Stage故障，需要更换TC马达等备件，我所无法自行完成维修，处于宕机状态。为保障项目的顺利推进，使该设备恢复正常运行，需要从尼康精机（中国）有限公 (略) 派遣专业技术人员进行更换及调试。 光刻机维修项目包括： 1. Wafer Stage TC马达更换及调试 2. 机台全面检查 3. 故障及隐患处理 本次委托的技术要求： 设备所有部件均能正常运行，且无报警；设备各项技术参数及指标达到该设备SPEC 本次委托的验收要求：保证光刻机正常运行，且性能指标达到验收要求。验收方式为现场验收设备状态，并由供应商提供维修保养报告，对报告内容进行验收。所换备件需质保6个月。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 光刻机维修 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光刻机维修 |
| 预算金额： | 280.*万元(人民币) |
| 采购品目： | C*-其他维修和保养服务 |
| 采购需求概况 ： | 尼康S205C深紫外光刻机为先导中心项目《先进逻辑器件及制造技术》的必要工艺设备。目前该设备因为Wafer Stage故障，需要更换TC马达等备件，我所无法自行完成维修，处于宕机状态。为保障项目的顺利推进，使该设备恢复正常运行，需要从尼康精机（中国）有限公 (略) 派遣专业技术人员进行更换及调试。 光刻机维修项目包括： 1. Wafer Stage TC马达更换及调试 2. 机台全面检查 3. 故障及隐患处理 本次委托的技术要求： 设备所有部件均能正常运行，且无报警；设备各项技术参数及指标达到该设备SPEC 本次委托的验收要求：保证光刻机正常运行，且性能指标达到验收要求。验收方式为现场验收设备状态，并由供应商提供维修保养报告，对报告内容进行验收。所换备件需质保6个月。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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