中国科学院微电子研究所2024年9至11月政府采购意向-8英寸高低温半自动晶圆测试探针台详细情况万元人民币
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中国科学院微电子研究所2024年9至11月政府采购意向-8英寸高低温半自动晶圆测试探针台详细情况万元人民币
| 8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 |
| 预算金额： | 155.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 主要功能：实现对先进GAA工艺和200mm晶圆特性的研究， (略) 和工艺设计的合理性并做出改进。通过DC-CV、1/f噪声测验和DC-IV等手段来对GAA器件建模，最终实现满足极端条件下测量的挑战和实验室自动化的需求，也为大规模批量应用提供准确的电气特性。 采购标的数量：1台 质量要求： （1）具有微暗室优化的腔体结构可以减少干燥气体的消耗量；（2）能够在半自动系统中进行DC-CV、DC-IV, RTN和RF测试且适配200mm晶圆的测试；（3）支持温度范围 -60°C-+200°C；（4）高性能防震系统；（5）最高移动速度>10mm/S；（6）Chuck角度旋转精度0.0001°，往返重复精度+-1μm，绝对定位精度+/-2μm。 服务、安全、时限等要求：12周内到货。 |
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 | |
| 项目所在采购意向： | (略) 微电子研究所2024年9至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) 微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 |
| 预算金额： | 155.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*-半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：8英寸高低温半自动晶圆测试探针台 主要功能：实现对先进GAA工艺和200mm晶圆特性的研究， (略) 和工艺设计的合理性并做出改进。通过DC-CV、1/f噪声测验和DC-IV等手段来对GAA器件建模，最终实现满足极端条件下测量的挑战和实验室自动化的需求，也为大规模批量应用提供准确的电气特性。 采购标的数量：1台 质量要求： （1）具有微暗室优化的腔体结构可以减少干燥气体的消耗量；（2）能够在半自动系统中进行DC-CV、DC-IV, RTN和RF测试且适配200mm晶圆的测试；（3）支持温度范围 -60°C-+200°C；（4）高性能防震系统；（5）最高移动速度>10mm/S；（6）Chuck角度旋转精度0.0001°，往返重复精度+-1μm，绝对定位精度+/-2μm。 服务、安全、时限等要求：12周内到货。 |
| 预计采购时间： | 2024-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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