A*其他光学仪器

需采购的PVT单晶炉用于氮化铝单晶生长。主要性能指标：1.可控温度：最高2400 ℃； 2.温度稳定性：工作温度为2350 ℃时，温度波动±1 ℃；3. 温度上限及稳定性验收方式：红外高温计实测，间隔10 s采样30 min；4. 压力可制范围0-1500 mbar；5.压力稳定性：工作压力为700 mbar时，压力波动±2 mbar；6. 压力及压力稳定性验收方式：压力表实测，间隔10 s采样30 min；7. 最高真空度：≤10-6 mbar；8. 真空度验收方式：压力表实测；9. 程序自动化：抽真空、充气、升温、压力控制、降温全流程可编辑，数据可导出；10. 生长晶片尺寸：3英寸； 11. 晶体生长速率：≥100 μm/h； 参考品牌苏州美腾炉业，MT-V1144V/G；采购数量：1台；部署场地：良乡校区前沿交叉科学研究大楼401；安装工程需求：冷却水：0.4公斤；电压：380 V三相电；功率：≥35 kW。

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需采购的PVT单晶炉用于氮化铝单晶生长。主要性能指标：1.可控温度：最高2400 ℃； 2.温度稳定性：工作温度为2350 ℃时，温度波动±1 ℃；3. 温度上限及稳定性验收方式：红外高温计实测，间隔10 s采样30 min；4. 压力可制范围0-1500 mbar；5.压力稳定性：工作压力为700 mbar时，压力波动±2 mbar；6. 压力及压力稳定性验收方式：压力表实测，间隔10 s采样30 min；7. 最高真空度：≤10-6 mbar；8. 真空度验收方式：压力表实测；9. 程序自动化：抽真空、充气、升温、压力控制、降温全流程可编辑，数据可导出；10. 生长晶片尺寸：3英寸； 11. 晶体生长速率：≥100 μm/h； 参考品牌苏州美腾炉业，MT-V1144V/G；采购数量：1台；部署场地：良乡校区前沿交叉科学研究大楼401；安装工程需求：冷却水：0.4公斤；电压：380 V三相电；功率：≥35 kW。