上海大学2024年09月政府采购意向-大功率脉冲电源放电装置
上海大学2024年09月政府采购意向-大功率脉冲电源放电装置
序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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1 | 大功率脉冲电源放电装置 | 通过高功率电弧激发电极放电等离子体用于产生先进光刻胶曝光所需波段的光。充电功率:0-15kW;腔体压力:1-100Pa可调;放电电流:>10kA;EUV光功率>10W/2pisr;放电频率:0-2kHz可调;电极寿命:>*次(可更换)。交货期:合同签订后6个月内,质保期1年。 | *.00 | 2024-09 |
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序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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1 | 大功率脉冲电源放电装置 | 通过高功率电弧激发电极放电等离子体用于产生先进光刻胶曝光所需波段的光。充电功率:0-15kW;腔体压力:1-100Pa可调;放电电流:>10kA;EUV光功率>10W/2pisr;放电频率:0-2kHz可调;电极寿命:>*次(可更换)。交货期:合同签订后6个月内,质保期1年。 | *.00 | 2024-09 |
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