南京大学2025年4至6月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀系统详细情况万元人民币
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南京大学2025年4至6月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀系统详细情况万元人民币
| 电感耦合等离子体刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2025年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购电感耦合等离子体刻蚀系统一台，主要参数需求：1. 内外双高频线圈频率13.56MHz，功率500-2800W可调；下电极由低频组件构成，线圈频率400kHz，功率10-600W；2.温度控制范围-20－90℃可调；3.反应气体种类为SF6、C4F8、CF4、O2和 (略) 反应气体，可实现BOSCH和UNBOSCH高深宽比刻蚀；4.带有光谱型终点检测仪；5.刻蚀样品尺寸最大直径８英寸，向下兼容；片内刻蚀均匀性±5%，批次间均匀性优于5%。仪器质保期需求：1年。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电感耦合等离子体刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2025年4至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀系统 |
| 预算金额： | 400.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A* 半导体器件参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 南京大学拟采购电感耦合等离子体刻蚀系统一台，主要参数需求：1. 内外双高频线圈频率13.56MHz，功率500-2800W可调；下电极由低频组件构成，线圈频率400kHz，功率10-600W；2.温度控制范围-20－90℃可调；3.反应气体种类为SF6、C4F8、CF4、O2和 (略) 反应气体，可实现BOSCH和UNBOSCH高深宽比刻蚀；4.带有光谱型终点检测仪；5.刻蚀样品尺寸最大直径８英寸，向下兼容；片内刻蚀均匀性±5%，批次间均匀性优于5%。仪器质保期需求：1年。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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