广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年08月至2024年09月政府采购意向-采购量测设备--化学机械抛光设备-采招网

广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年08月至2024年09月政府采购意向-采购量测设备--化学机械抛光设备

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广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年08月至2024年09月政府采购意向-采购量测设备--化学机械抛光设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年09月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	采购量测设备--化学机械抛光设备	标的名称：采购量测设备--化学机械抛光设备标的数量：1 主要功能或目标：主要功能：本设备通过结合化学腐蚀和机械磨削的双重作用，使用抛光液与抛光垫，在纳米级别上实现材料表面的平整度，避免了单纯使用机械抛光可能造成的加工损伤，克服了单纯使用化学抛光时抛光效率低、表面平整度和抛光一致性差的缺点。目标：借助化学机械抛光，满足半导体制造中对高精度、高平整度的需求，提高微电子产品的性能和可靠性，最终实现在光学、航空航天等领域的广泛应用。需满足的要求：基本硬件要求：至少具备化学机械抛光机，清洗液及抛光液供应系统，涵盖4、6、8寸的抛光头、保持环及器膜，抛光垫，修正器及其相关配件，搭 (略) 研磨 (略) 。晶圆要求：适用于4-8英寸晶圆的抛光需求。工艺性能要求： 1）抛光头、研磨台、修整器最大转速应≥140 rpm；误差应≤1% 2）片间、片内一致性（Cu）4、6、8英寸晶圆（去边5mm）分别应小于8%、5%、4% 3）晶圆正面0.2	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	7,*	2024年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制 (略)

2024年08月14日

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	采购量测设备--化学机械抛光设备	标的名称：采购量测设备--化学机械抛光设备标的数量：1 主要功能或目标：主要功能：本设备通过结合化学腐蚀和机械磨削的双重作用，使用抛光液与抛光垫，在纳米级别上实现材料表面的平整度，避免了单纯使用机械抛光可能造成的加工损伤，克服了单纯使用化学抛光时抛光效率低、表面平整度和抛光一致性差的缺点。目标：借助化学机械抛光，满足半导体制造中对高精度、高平整度的需求，提高微电子产品的性能和可靠性，最终实现在光学、航空航天等领域的广泛应用。需满足的要求：基本硬件要求：至少具备化学机械抛光机，清洗液及抛光液供应系统，涵盖4、6、8寸的抛光头、保持环及器膜，抛光垫，修正器及其相关配件，搭 (略) 研磨 (略) 。晶圆要求：适用于4-8英寸晶圆的抛光需求。工艺性能要求： 1）抛光头、研磨台、修整器最大转速应≥140 rpm；误差应≤1% 2）片间、片内一致性（Cu）4、6、8英寸晶圆（去边5mm）分别应小于8%、5%、4% 3）晶圆正面0.2	落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位、贫困地区农副产品等政策情况	7,*	2024年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

广东中科半导体微纳制 (略)

2024年08月14日

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