华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向
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华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向
| 公告标题 | 华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向 |
|---|---|
| 公告发布时间 | 2024-08-20 11:16:00 |
| 公告性质 | 正常公告 |
| 公告编号 | 8a7e053d915ae3e*aefd*b |
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年09月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学原子层沉积系统采购项目 | 标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：该设备应同时具有T-ALD和PEALD功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工8寸及8寸以下硅片样品，?4寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。? 需满足的要求：通过热原子层沉积（T-ALD）和等离子体增强原子层沉积（PEALD）制备致密的、纳米尺度的氧化物薄膜, 例如Al2O3、HfO2、TiO2等薄膜。等离子体源须采用真远程等离子体方式，以减少对样品的表面损伤，且制备温度可低于100℃。兼容8英寸及以下的晶圆和不规则碎片。配备预真空室，可自动进行样品传送。载物台最高加热温度≥500℃；配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥550 m3/hr等。 | 按规定落实 | 3,* | 2024年09月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华南师范大学
2024年08月20日
| 公告标题 | 华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向 |
|---|---|
| 公告发布时间 | 2024-08-20 11:16:00 |
| 公告性质 | 正常公告 |
| 公告编号 | 8a7e053d915ae3e*aefd*b |
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年09月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学原子层沉积系统采购项目 | 标的名称：原子层沉积系统 标的数量：1 主要功能或目标：该设备应同时具有T-ALD和PEALD功能，且两种功能能够自动切换来制备周期性交替薄膜。可加工8寸及8寸以下硅片样品，?4寸硅片生长重复性及厚度不均匀性控制在一定范围内。? 需满足的要求：通过热原子层沉积（T-ALD）和等离子体增强原子层沉积（PEALD）制备致密的、纳米尺度的氧化物薄膜, 例如Al2O3、HfO2、TiO2等薄膜。等离子体源须采用真远程等离子体方式，以减少对样品的表面损伤，且制备温度可低于100℃。兼容8英寸及以下的晶圆和不规则碎片。配备预真空室，可自动进行样品传送。载物台最高加热温度≥500℃；配置防腐蚀设计的罗茨干泵，抽速≥550 m3/hr等。 | 按规定落实 | 3,* | 2024年09月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华南师范大学
2024年08月20日
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