华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向-采招网

华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向

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华南师范大学2024年08月至2024年09月政府采购意向

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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年09月采购意向公开如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	华南师范大学电子束曝光系统采购项目	标的名称：电子束曝光系统标的数量：1 主要功能或目标：高精度曝光：电子束曝光技术能够实现纳米级别的精度，这使得它在制造纳米线等微小结构时非常有用。微电子制造：该技术广泛应用于半导体、光伏、液晶显示器等领域，特别是在微电子制造过程中，用于制作微细图形。电子束扫描显微镜成像：除了曝光功能外，电子束曝光系统还具备电子束扫描显微镜成像功能，可用于观察和分析样品的微观结构。微纳米器件加工：电子束曝光技术可以制备硅基微型器件、纳米微孔等微纳米级器件。需满足的要求：二次电子像分辨率：≤0.6nm ( 15 kV)，≤1.0 nm ( 1 kV )；加速电压：0.01kV ～ 30kV连续可调；束流范围：热场发射电子枪，数pA～300nA(15kV)，分析效率极高；放大倍率：×25~×2,000,000(底片倍率)，×69~×5,480,000(显示器倍率)；电子枪：浸没式肖特基热场发射电子枪，自动合轴调整功能；电子枪寿命：质保期≥3年，业内平均寿命5年以上。	按规定落实	4,*	2024年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

华南师范大学

2024年08月20日

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序号	采购项目名称	采购需求概况	落实政府采购政策情况	预算金额(元)	预计采购时间	备注
1	华南师范大学电子束曝光系统采购项目	标的名称：电子束曝光系统标的数量：1 主要功能或目标：高精度曝光：电子束曝光技术能够实现纳米级别的精度，这使得它在制造纳米线等微小结构时非常有用。微电子制造：该技术广泛应用于半导体、光伏、液晶显示器等领域，特别是在微电子制造过程中，用于制作微细图形。电子束扫描显微镜成像：除了曝光功能外，电子束曝光系统还具备电子束扫描显微镜成像功能，可用于观察和分析样品的微观结构。微纳米器件加工：电子束曝光技术可以制备硅基微型器件、纳米微孔等微纳米级器件。需满足的要求：二次电子像分辨率：≤0.6nm ( 15 kV)，≤1.0 nm ( 1 kV )；加速电压：0.01kV ～ 30kV连续可调；束流范围：热场发射电子枪，数pA～300nA(15kV)，分析效率极高；放大倍率：×25~×2,000,000(底片倍率)，×69~×5,480,000(显示器倍率)；电子枪：浸没式肖特基热场发射电子枪，自动合轴调整功能；电子枪寿命：质保期≥3年，业内平均寿命5年以上。	按规定落实	4,*	2024年09月

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

华南师范大学

2024年08月20日

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