浙江大学温州研究院2024年8月政府采购意向

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浙江大学温州研究院2024年8月政府采购意向

浙江大 (略) 2024年8月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将浙江大 (略) 2024年8月采购意向公开如下：

采购单位 浙江大 (略)
采购项目名称 半导体材料制备及原位表征系统
采购品目 A*其他仪器仪表
采购需求概况 配备快速进样腔、预处理腔、圆形传样腔、氧化物和其它化合物2套MBE生长腔体：
快速进样腔、预处理腔、传样腔、MBE生长腔在经完全烘烤后，本底真空好于5×10-8mbar，配备真空泵、真空测量系统、阀门、样品台及观察窗等；
超高真空氧化物生长腔真空差分腔体满足差分需要和蒸发源换料需求，中温蒸发源3套，适用于蒸发Al、Ga、Sn、In，低温蒸发源2套，适用于Mg和Zn；
其它化合物超高真空分子束外延生长腔配备中温蒸发源2套，适用于蒸发Sn、In，低温蒸发源2套，适用于Se等；
传样机械臂的转动自由度：360°连续旋转；
超高真空2轴样品操纵台可装载2inch样品托（兼容flag-type），样品托加热温度不劣于：RT - 1100 K；
配备红外测温仪、反射式高能电子衍射仪、质谱仪、离子枪、超高纯臭氧系统等；
红外测温仪模块可测温范围不劣于：100 – 1200°C，光学分辨率不劣于：150:1；
反射式高能电子衍射仪能量范围不低于500 eV - 15 keV，电子束流不低于100μA，电子束斑尺寸不劣于：50 μm - 150 mm；
质谱仪测量范围不劣于：0 – 100 amu；
离子枪能量调节范围不劣于：0.1 – 3 keV；
液化型超高纯臭氧系统制备的臭氧浓度不劣于99.5%；
氧发生器最大臭氧产率不低于：20 g/h；
臭氧发生器最大臭氧浓度不低于：15%；
闭循环制冷提纯系统无需补充液氮或液氦，最低 制冷温度不高于35 K，温控模式为PID模式，液化池温控精度不劣于±0.1 K，提纯过程中臭氧液化效率不低于80%；
预算金额（元） *
预计采购时间 2024年10月
中小企业预留情况 中小企业预留
落实政府采购政策功能情况
联系人 余佳晨
联系电话 0577-*
备注 /

浙江大 (略)

2024年08月21日

浙江大 (略) 2024年8月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将浙江大 (略) 2024年8月采购意向公开如下：

采购单位 浙江大 (略)
采购项目名称 半导体材料制备及原位表征系统
采购品目 A*其他仪器仪表
采购需求概况 配备快速进样腔、预处理腔、圆形传样腔、氧化物和其它化合物2套MBE生长腔体：
快速进样腔、预处理腔、传样腔、MBE生长腔在经完全烘烤后，本底真空好于5×10-8mbar，配备真空泵、真空测量系统、阀门、样品台及观察窗等；
超高真空氧化物生长腔真空差分腔体满足差分需要和蒸发源换料需求，中温蒸发源3套，适用于蒸发Al、Ga、Sn、In，低温蒸发源2套，适用于Mg和Zn；
其它化合物超高真空分子束外延生长腔配备中温蒸发源2套，适用于蒸发Sn、In，低温蒸发源2套，适用于Se等；
传样机械臂的转动自由度：360°连续旋转；
超高真空2轴样品操纵台可装载2inch样品托（兼容flag-type），样品托加热温度不劣于：RT - 1100 K；
配备红外测温仪、反射式高能电子衍射仪、质谱仪、离子枪、超高纯臭氧系统等；
红外测温仪模块可测温范围不劣于：100 – 1200°C，光学分辨率不劣于：150:1；
反射式高能电子衍射仪能量范围不低于500 eV - 15 keV，电子束流不低于100μA，电子束斑尺寸不劣于：50 μm - 150 mm；
质谱仪测量范围不劣于：0 – 100 amu；
离子枪能量调节范围不劣于：0.1 – 3 keV；
液化型超高纯臭氧系统制备的臭氧浓度不劣于99.5%；
氧发生器最大臭氧产率不低于：20 g/h；
臭氧发生器最大臭氧浓度不低于：15%；
闭循环制冷提纯系统无需补充液氮或液氦，最低 制冷温度不高于35 K，温控模式为PID模式，液化池温控精度不劣于±0.1 K，提纯过程中臭氧液化效率不低于80%；
预算金额（元） *
预计采购时间 2024年10月
中小企业预留情况 中小企业预留
落实政府采购政策功能情况
联系人 余佳晨
联系电话 0577-*
备注 /

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