华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向
发送至邮箱
华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向
| 公告标题 | 华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向 |
|---|---|
| 公告发布时间 | 2024-08-21 21:17:10 |
| 公告性质 | 正常公告 |
| 公告编号 | 8a7e053d915ae3e*4b |
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年11月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学采购等离子体刻蚀机系统项目 | 标的名称：等离子体刻蚀机系统 标的数量：1 主要功能或目标：该套仪器主要用于硅等半导体薄膜的微纳米刻蚀加工，主要技术参数包括：腔室本底真空：< 0.5 mTorr；卡盘：8英寸机械卡盘 向下兼容；上射频电源功率：≥ 2500W；下射频电源功率：1500W；分子泵抽速2650L/s；传输模块：装有机械手，进行晶片的传输。该套仪器采用独特设计的等离子体源，实现对腔室内等离体密度均匀控制，具有稳定可靠的工艺性能、宽阔的工艺窗口和良好的工艺兼容性，可以实现单片晶圆 需满足的要求：需满足半导体等材料器件刻蚀，高精度微纳加工，光场调控以及微纳光子器件制备等领域的实验、教学、科研需求。 | 按规定落实 | 3,* | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华南师范大学
2024年08月21日
| 公告标题 | 华南师范大学2024年08月至2024年11月政府采购意向 |
|---|---|
| 公告发布时间 | 2024-08-21 21:17:10 |
| 公告性质 | 正常公告 |
| 公告编号 | 8a7e053d915ae3e*4b |
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位2024年08月至2024年11月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 落实政府采购政策情况 | 预算金额(元) | 预计采购时间 | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 华南师范大学采购等离子体刻蚀机系统项目 | 标的名称：等离子体刻蚀机系统 标的数量：1 主要功能或目标：该套仪器主要用于硅等半导体薄膜的微纳米刻蚀加工，主要技术参数包括：腔室本底真空：< 0.5 mTorr；卡盘：8英寸机械卡盘 向下兼容；上射频电源功率：≥ 2500W；下射频电源功率：1500W；分子泵抽速2650L/s；传输模块：装有机械手，进行晶片的传输。该套仪器采用独特设计的等离子体源，实现对腔室内等离体密度均匀控制，具有稳定可靠的工艺性能、宽阔的工艺窗口和良好的工艺兼容性，可以实现单片晶圆 需满足的要求：需满足半导体等材料器件刻蚀，高精度微纳加工，光场调控以及微纳光子器件制备等领域的实验、教学、科研需求。 | 按规定落实 | 3,* | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
华南师范大学
2024年08月21日
招投标大数据
最近搜索
无
热门搜索
无
