芜湖市产业创新中心2024年8月政府采购意向
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芜湖市产业创新中心2024年8月政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 (略) 产业创新中心2024年8月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
| 1 | 西 (略) 碳化硅外延炉采购 | 西安电子科技大 (略) 采购碳化硅外延炉1台。加工晶圆尺寸为：6、8英寸兼容；最大工艺温度为：1750℃；高速生长速率为：≥60μm/h，标准生长速率为：≥30μm/h；背景浓度＜1E14 cm-3；厚度11 um外延层（6&8英寸）指标为 ：单片外延层厚度不均匀性为：≤2 %（б/mean），片内掺杂浓度不均匀性为：≤4 %（б/mean）；可控掺杂浓度范围为：1E14～1E19 cm-3。用于碳化硅外延材料生长，实现自主外延晶圆材料供给。 | 800 | 2024年09月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
(略) 产业创新中心
2024年08月27日
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 (略) 产业创新中心2024年8月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（万元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
| 1 | 西 (略) 碳化硅外延炉采购 | 西安电子科技大 (略) 采购碳化硅外延炉1台。加工晶圆尺寸为：6、8英寸兼容；最大工艺温度为：1750℃；高速生长速率为：≥60μm/h，标准生长速率为：≥30μm/h；背景浓度＜1E14 cm-3；厚度11 um外延层（6&8英寸）指标为 ：单片外延层厚度不均匀性为：≤2 %（б/mean），片内掺杂浓度不均匀性为：≤4 %（б/mean）；可控掺杂浓度范围为：1E14～1E19 cm-3。用于碳化硅外延材料生长，实现自主外延晶圆材料供给。 | 800 | 2024年09月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
(略) 产业创新中心
2024年08月27日
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