北京理工大学2024年10月政府采购意向-电子束曝光机详细情况万元人民币
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北京理工大学2024年10月政府采购意向-电子束曝光机详细情况万元人民币
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 560.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.采用肖特基热场发射电子束源，可实现高分辨电子束光刻和电子束成像功能。 2.加速电压为20V-30kV，并在此范围内可以灵活调节。 3.束电流范围：5pA - 20nA 4.束流可长时间稳定，实验室温度波动± 0.5℃的情况下，束电流稳定性不大于± 0.5%/ 小时。 5.配备轴向和非轴向两个二次电子探测器，实现高分辨成像和测量功能，成像放大倍数满足20 - 1,000,000倍 *6. 配备系统专用图形发生器，扫描频率不小于20MHz *7.写场尺寸调节范围0.5um-2mm。 8.提供水冷机以及常用工具箱。 *9.束斑尺寸：1kV加速电压下不大于4nm；20kV加速电压下不大于1.6nm 10.束斑位置稳定性：不大于±400nm/小时 *11.最小验收线宽：不大于8nm； *12.光栅验收尺寸：光栅周期≤40nm，线宽≤20nm *13.100um写场，同一写场内的套刻精度：不大于 50 nm (|mean| + 3 · sigma) |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2024年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光机 |
| 预算金额： | 560.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.采用肖特基热场发射电子束源，可实现高分辨电子束光刻和电子束成像功能。 2.加速电压为20V-30kV，并在此范围内可以灵活调节。 3.束电流范围：5pA - 20nA 4.束流可长时间稳定，实验室温度波动± 0.5℃的情况下，束电流稳定性不大于± 0.5%/ 小时。 5.配备轴向和非轴向两个二次电子探测器，实现高分辨成像和测量功能，成像放大倍数满足20 - 1,000,000倍 *6. 配备系统专用图形发生器，扫描频率不小于20MHz *7.写场尺寸调节范围0.5um-2mm。 8.提供水冷机以及常用工具箱。 *9.束斑尺寸：1kV加速电压下不大于4nm；20kV加速电压下不大于1.6nm 10.束斑位置稳定性：不大于±400nm/小时 *11.最小验收线宽：不大于8nm； *12.光栅验收尺寸：光栅周期≤40nm，线宽≤20nm *13.100um写场，同一写场内的套刻精度：不大于 50 nm (|mean| + 3 · sigma) |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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