深圳国际量子研究院场发射扫描电镜采购项目意向公开-其他机械设备
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深圳国际量子研究院场发射扫描电镜采购项目意向公开-其他机械设备
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 场发射扫描电镜采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,* |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 本项目拟采购一台场发射扫描电子显微镜，该设备由电镜主机、真空系统、光学导航与交换仓等功能附件构成。 该场发射扫描电镜用于对半导体芯片和封装材料的内部结构进行高分辨率的扫描和成像，检测芯片或封装材料中的缺陷、裂纹、气泡等微观结构问题，通过提供高清晰度的图像数据，并精确测量半导体器件中的微小尺寸特征，如线宽、间距和孔径。 该场发射扫描电镜用于满足在集成光芯片的表征研发与生产工作中，对大尺寸晶圆样品的无损表面图形及缺陷检测、均匀性分析与刻蚀侧壁粗糙度分析等需求，使研究人员能够及时监测实际工艺进展，有助于集成光芯片生产过程质量监测、提升加工成品率与提升器件工艺开发效率。 该场发射扫描电镜可满足0.8 *@*5 kV，1.2 nm @1 kV的分辨率技术指标，有全真空电机驱动的5轴全自动样品台与图片定位功能，能在1min内完成换样的8寸快速交换仓，6寸和8寸晶圆在样品仓内的最大倾斜角需要达到50度，且可观察范围在φ140mm以内。 |
| 预计采购时间: | 2024-9 |
| 联系人: | 高老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳国 (略) |
| 项目名称: | 场发射扫描电镜采购项目 |
| 预算金额（元）: | 1,* |
| 采购品目: | 其他机械设备 |
| 采购需求概况: | 本项目拟采购一台场发射扫描电子显微镜，该设备由电镜主机、真空系统、光学导航与交换仓等功能附件构成。 该场发射扫描电镜用于对半导体芯片和封装材料的内部结构进行高分辨率的扫描和成像，检测芯片或封装材料中的缺陷、裂纹、气泡等微观结构问题，通过提供高清晰度的图像数据，并精确测量半导体器件中的微小尺寸特征，如线宽、间距和孔径。 该场发射扫描电镜用于满足在集成光芯片的表征研发与生产工作中，对大尺寸晶圆样品的无损表面图形及缺陷检测、均匀性分析与刻蚀侧壁粗糙度分析等需求，使研究人员能够及时监测实际工艺进展，有助于集成光芯片生产过程质量监测、提升加工成品率与提升器件工艺开发效率。 该场发射扫描电镜可满足0.8 *@*5 kV，1.2 nm @1 kV的分辨率技术指标，有全真空电机驱动的5轴全自动样品台与图片定位功能，能在1min内完成换样的8寸快速交换仓，6寸和8寸晶圆在样品仓内的最大倾斜角需要达到50度，且可观察范围在φ140mm以内。 |
| 预计采购时间: | 2024-9 |
| 联系人: | 高老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
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