铁电存储器离子束刻蚀系统招标预告
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铁电存储器离子束刻蚀系统招标预告
| 铁电存储器离子束刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 铁电存储器离子束刻蚀系统 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 拟购铁电存储器离子束刻蚀系统1套。 主要技术指标： 1.反应腔室极限真空＜7*10e-7torr,腔室漏率＜1mTorr/min; 2.配备8英寸下电极，下电极温度范围5~35℃，温度均匀性≤5%设定值； 3.下电极转动角度范围-90~80°，step 1°；下电极转速范围0~20rpm; 4.刻蚀速率＞100A/min，片内片间均匀性＜5% |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 铁电存储器离子束刻蚀系统 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | 铁电存储器离子束刻蚀系统 |
| 预算金额： | 550.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 拟购铁电存储器离子束刻蚀系统1套。 主要技术指标： 1.反应腔室极限真空＜7*10e-7torr,腔室漏率＜1mTorr/min; 2.配备8英寸下电极，下电极温度范围5~35℃，温度均匀性≤5%设定值； 3.下电极转动角度范围-90~80°，step 1°；下电极转速范围0~20rpm; 4.刻蚀速率＞100A/min，片内片间均匀性＜5% |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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