东南大学2024年9至12月政府采购意向-等离子划片机详细情况万元人民币
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东南大学2024年9至12月政府采购意向-等离子划片机详细情况万元人民币
| 等离子划片机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 等离子划片机 |
| 预算金额： | 780.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。以等离子深硅刻蚀的方式实现12寸晶圆高洁净度划片，最高刻蚀速度大于10微米/分钟，片内均匀度<3%，具有双SRF源 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 等离子划片机 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 等离子划片机 |
| 预算金额： | 780.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。以等离子深硅刻蚀的方式实现12寸晶圆高洁净度划片，最高刻蚀速度大于10微米/分钟，片内均匀度<3%，具有双SRF源 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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