东南大学2024年9至12月政府采购意向-12寸等离子增强气相沉积详细情况万元人民币
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东南大学2024年9至12月政府采购意向-12寸等离子增强气相沉积详细情况万元人民币
| 12寸等离子增强气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 12寸等离子增强气相沉积 |
| 预算金额： | 1650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。具有三个以上12英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积SiO2,Si3N4,SiCN等薄膜，12英寸晶圆片内不均匀度小于5 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 12寸等离子增强气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | 东南大学2024年9至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东南大学 |
| 采购项目名称： | 12寸等离子增强气相沉积 |
| 预算金额： | 1650.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 购置1套。具有三个以上12英寸晶圆沉积腔，可实现液体源的导入，可沉积SiO2,Si3N4,SiCN等薄膜，12英寸晶圆片内不均匀度小于5 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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