上海大学2024年10月政府采购意向-水平式多腔室真空退火设备-采招网

上海大学2024年10月政府采购意向-水平式多腔室真空退火设备

内容

发送至邮箱

上海大学2024年10月政府采购意向-水平式多腔室真空退火设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 上海大学2024年10月政府采购意向 如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	水平式多腔室真空退火设备	1)退火腔数目≥2，能有避免不同材料间的交叉污染; 2)最高退火温度≥1200°C,且在 1200°C 下退火时长≥12h; 3)真空腔极限真空优于 9×10-10Torr; 4)退火腔加热至 1600°C 时真空度优于 6×10-7Torr; 5)进样室极限真空优于 5×10-6Torr; 6)样品库：工位数目≥3，且每个工位都能兼容2、4、6、8寸晶圆; 7)控温表显示精度优于±5°C; 8)机械泵、分子泵、真空计等真空单元具备自动保护功能; 9)自带冷却循环装置; 10)质保至少2年。	*.00	2024-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

/

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	水平式多腔室真空退火设备	1)退火腔数目≥2，能有避免不同材料间的交叉污染; 2)最高退火温度≥1200°C,且在 1200°C 下退火时长≥12h; 3)真空腔极限真空优于 9×10-10Torr; 4)退火腔加热至 1600°C 时真空度优于 6×10-7Torr; 5)进样室极限真空优于 5×10-6Torr; 6)样品库：工位数目≥3，且每个工位都能兼容2、4、6、8寸晶圆; 7)控温表显示精度优于±5°C; 8)机械泵、分子泵、真空计等真空单元具备自动保护功能; 9)自带冷却循环装置; 10)质保至少2年。	*.00	2024-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

/

查看详情》