上海大学2024年10月政府采购意向-自动晶圆研磨抛光后道清洗设备-采招网

上海大学2024年10月政府采购意向-自动晶圆研磨抛光后道清洗设备

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上海大学2024年10月政府采购意向-自动晶圆研磨抛光后道清洗设备

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将 上海大学2024年10月政府采购意向 如下：

序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	自动晶圆研磨抛光后道清洗设备	1)卡盘能兼容 4、6、8 寸晶圆； 2)配有防液体飞溅保护罩，该防护罩同时具备排酸和排碱功能； 3)Pencil 臂具备旋转和升降功能； 4)配有 DHF 和 DIW 喷头各一个，且角度可调； 5)腔室配有 FFU，能为腔室提供 Class 1 等级的微环境； 6)腔室废 (略) 数目≥2； 7)腔室废 (略) 数目≥2，且 HF 需要单独排放； 8)具备漏液报警和液体进口关断功能； 9)质保至少2年。	*.00	2024-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

上海大学

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序号	采购项目名称	采购需求概况	预算金额（元）	预计采购时间（填写到月）	备注
1	自动晶圆研磨抛光后道清洗设备	1)卡盘能兼容 4、6、8 寸晶圆； 2)配有防液体飞溅保护罩，该防护罩同时具备排酸和排碱功能； 3)Pencil 臂具备旋转和升降功能； 4)配有 DHF 和 DIW 喷头各一个，且角度可调； 5)腔室配有 FFU，能为腔室提供 Class 1 等级的微环境； 6)腔室废 (略) 数目≥2； 7)腔室废 (略) 数目≥2，且 HF 需要单独排放； 8)具备漏液报警和液体进口关断功能； 9)质保至少2年。	*.00	2024-10

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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