山东大学2024年第六十四批10月至11月政府采购意向公开-反应离子刻蚀设备
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山东大学2024年第六十四批10月至11月政府采购意向公开-反应离子刻蚀设备
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将山东大学2024年（第六十四批）10月至11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 反应离子刻蚀设备 | JN* | A* 真空应用设备 | 本次采购反应离子刻蚀设备设备1台，可以刻蚀有机物、Si、SiO2、SiNx、金属等材料，应用 (略) 领域的材料和器件加工工艺。 | 165 | 2024年10月 | |
| 2 | 8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉 | JN* | A* 通用工业窑炉 | 本次采购8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉设备1台，产品需要达到高温区最高温度需要超过2500℃，腔室直径大于200mm。 | 190 | 2024年11月 | |
| 3 | 高精度电感耦合等离子体质谱仪 | JN* | A* 质谱仪 | 本次采购的高精度电感耦合等离子质谱仪1台，产品需要达到荷质比的定性分析，满足半导体材料研发需求。 | 190 | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
山东大学招标采购管理中心
2024年09月23日
为便于供应商及时了解政府采购信息， 根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》 （财库〔2020〕10号）等有关规定，现将山东大学2024年（第六十四批）10月至11月政府采购意向公开政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 意向编号 | 采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购日期 | 备注 |
| 1 | 反应离子刻蚀设备 | JN* | A* 真空应用设备 | 本次采购反应离子刻蚀设备设备1台，可以刻蚀有机物、Si、SiO2、SiNx、金属等材料，应用 (略) 领域的材料和器件加工工艺。 | 165 | 2024年10月 | |
| 2 | 8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉 | JN* | A* 通用工业窑炉 | 本次采购8英寸高温化学气相沉积单晶生长炉设备1台，产品需要达到高温区最高温度需要超过2500℃，腔室直径大于200mm。 | 190 | 2024年11月 | |
| 3 | 高精度电感耦合等离子体质谱仪 | JN* | A* 质谱仪 | 本次采购的高精度电感耦合等离子质谱仪1台，产品需要达到荷质比的定性分析，满足半导体材料研发需求。 | 190 | 2024年11月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
山东大学招标采购管理中心
2024年09月23日
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