深圳大学电子束曝光机意向公开-光学式分析仪器
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深圳大学电子束曝光机意向公开-光学式分析仪器
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 电子束曝光机 |
| 预算金额（元）: | 4,* |
| 采购品目: | 光学式分析仪器 |
| 采购需求概况: | 电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用，使胶由长（短）链变成断（长）链，实现曝光，相比于光刻机具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究 |
| 预计采购时间: | 2024-9 |
| 联系人: | 陈老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
| 采购单位: | 深圳大学 |
| 项目名称: | 电子束曝光机 |
| 预算金额（元）: | 4,* |
| 采购品目: | 光学式分析仪器 |
| 采购需求概况: | 电子束曝光是由高能量电子束和光刻胶相互作用，使胶由长（短）链变成断（长）链，实现曝光，相比于光刻机具有更高的分辨率，主要用于制作光刻掩模版、硅片直写和纳米科学技术研究 |
| 预计采购时间: | 2024-9 |
| 联系人: | 陈老师 |
| 联系电话: | * |
| 备注: | 无 |
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