2024年11至3月政府采购意向-8英寸SiC外延设备详细情况万元人民币

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2024年11至3月政府采购意向-8英寸SiC外延设备详细情况万元人民币

8英寸SiC外延设备
项目所在采购意向: 西安电子科技大学2024年11至3月政府采购意向
采购单位: 西安电子科技大学
采购项目名称: 8英寸SiC外延设备
预算金额: 800.(略)万元(人民币)
采购品目:
A(略) 电子工业生产设备
采购需求概况 :
可进行N、P外延生长;反应室设计的最高温度超过1750℃,温度控制精度±0.5℃;工艺控压范围50-300mbar(150 slm H2)。
预计采购时间: 2025-03
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

,西安
8英寸SiC外延设备
项目所在采购意向: 西安电子科技大学2024年11至3月政府采购意向
采购单位: 西安电子科技大学
采购项目名称: 8英寸SiC外延设备
预算金额: 800.(略)万元(人民币)
采购品目:
A(略) 电子工业生产设备
采购需求概况 :
可进行N、P外延生长;反应室设计的最高温度超过1750℃,温度控制精度±0.5℃;工艺控压范围50-300mbar(150 slm H2)。
预计采购时间: 2025-03
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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