A*-半导体器件参数测量仪

椭圆偏振光谱仪采购 拟采购一台椭圆偏振光谱仪，用于分析材料的光学性质和表面特性。测量薄膜厚度、折射率、消光系数等光学常数以及表面层的均匀性，界面质量等信息。仪器应具有非接触地精准测量半导体，光学器件等样品纳米级厚度，分析多层膜结构中每一层的厚度和光学性质的能力，也可以检测材料层与层之间的界面质量，改善材料的制备工艺等。 其设备参数应当满足： 1，测量光谱范围 370 nm 到 1000 nm 内的 390个数据点； 2，要求仪器具有旋转补偿设计 3，仪器能够满足全光谱所有数据点同时测量 4，该仪器最小数据采集时间至少20HZ，光谱典型数据采集时间应在1-5秒 5，计算器控制45°到90°自动角度，最小步进度数小于0.02° 6，光斑尺寸要求在1-5nm可调 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标要求。卖家提供质保服务，一年免修，前三年每年一次固定维护。工程师提供上门仪器安装，全套仪器使用教学，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且维修时只收取所需 (略) 场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。

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