A(略)-真空应用设备

等离子体多层薄膜/粉体沉积系统采购 拟采购一台等离子体多层薄膜/粉体沉积系统，技术结合ALD技术，实现精确控制和高质量沉积，可以通过调控沉积参数和层次，能精确定制材料的结构、组成和性能，并制备纳米颗粒和纳米薄膜。数量一台。具体参数要求： 1.内外双腔结构，内腔可拆卸；2.包含 2 套粉末样品内腔和 2 套平面内腔；3.反应温度最高 500℃；4.高性能真空泵系统（机械泵+吸附井）；5.沉积自动控制软件系统；6.腔室真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S；6.平面样品内腔：可放下 1 片 6 英寸硅片；7.粉末样品仓：具有 3 个独立的粉体样品仓，可同时沉积 3种不同的粉体样品；8.每个粉体样品仓可以放置 1g 左右的粉末；9.反应温度：最高 500℃（使用低温内腔最高 200℃）。9.在 6 英寸晶圆上沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少 9个均匀分散点（边缘 5 毫米除外）进行膜厚测试，膜厚非 均匀性≤±1%为合格；10. 高性能真空系统，整机极限真空＜5×10 -2Torr，真空漏率＜ 5×10 -7 Pa·L/S 包含： 11. 高性能机械泵，额定抽速＞20 m3/h； 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标要求。卖家提供质保服务，一年免修，前三年每年一次固定维护。工程师提供上门仪器安装，全套仪器使用教学，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且维修时只收取所需 (略) 场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。

A(略)-真空应用设备

等离子体多层薄膜/粉体沉积系统采购 拟采购一台等离子体多层薄膜/粉体沉积系统，技术结合ALD技术，实现精确控制和高质量沉积，可以通过调控沉积参数和层次，能精确定制材料的结构、组成和性能，并制备纳米颗粒和纳米薄膜。数量一台。具体参数要求： 1.内外双腔结构，内腔可拆卸；2.包含 2 套粉末样品内腔和 2 套平面内腔；3.反应温度最高 500℃；4.高性能真空泵系统（机械泵+吸附井）；5.沉积自动控制软件系统；6.腔室真空漏率＜5×10-7 Pa·L/S；6.平面样品内腔：可放下 1 片 6 英寸硅片；7.粉末样品仓：具有 3 个独立的粉体样品仓，可同时沉积 3种不同的粉体样品；8.每个粉体样品仓可以放置 1g 左右的粉末；9.反应温度：最高 500℃（使用低温内腔最高 200℃）。9.在 6 英寸晶圆上沉积 300 循环氧化铝，以晶圆上至少 9个均匀分散点（边缘 5 毫米除外）进行膜厚测试，膜厚非 均匀性≤±1%为合格；10. 高性能真空系统，整机极限真空＜5×10 -2Torr，真空漏率＜ 5×10 -7 Pa·L/S 包含： 11. 高性能机械泵，额定抽速＞20 m3/h； 采购设备需满足相应设备技术参数中的各项指标要求。卖家提供质保服务，一年免修，前三年每年一次固定维护。工程师提供上门仪器安装，全套仪器使用教学，产品质量达到设计要求，安装调试各项指标符合招标技术参数，其售后服务应满足：（1）不论质保期内外，卖方应当提供7*24小时电话支持服务；（2）质保期内因产品质量出现问题，买方有权要求卖方予以无条件维修、更换或退货；（3）质保期内所有的配件和人工费用由厂家承担；（4）厂商应及时免费提供合同货物软件的升级，免费提供合同货物新功能和应用的资料；（5）质保期届满后，卖方仍对本合同项下货物提供有偿服务，且维修时只收取所需 (略) 场成本价费用，服务内容应与质保期内的要求相一致。