A#-电阻测量仪器

1. 采购名称：薄膜电阻测试仪系统 2. 采购标的需实现的主要功能或目标：主要用于表征和测试金属薄膜、介质膜等纳米级单层或多层功能膜和复合膜。其主要功能包括：（1）高真空环境：溅射室极限真空度：≤6.0x10-6 Pa (经烘烤除气后)； （2）四探针同步高精度测量。带温控的电阻测量系统，温度范围大于室温-80℃ （3）多靶位设计：配备三个靶，可实现多种材料的复合镀膜。尺寸为4英寸的样品可均镀膜，不均匀度为≤±5%（4）样品台可旋转和加热，确保镀膜的均匀性和附着力。 （5）自动化控制：系统采用PLC+嵌入一体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式，系统设有实验镀膜模式与全自动镀膜模式。 3. 采购数量：1套 4. 采购标的需满足的质量、安全等要求：符合国际标准，具备必要的安全认证。 5. 服务要求：（1）需提供厂家授权书和售后服务承诺书原件，保证服务12小时内响应，72小时内到达现场； （2）产品质保期为一年； （3）应配备正规厂家的品牌电脑及操作系统；（4）要求供应商或生产商负责免费送货上门、安装调试、原厂包装，定期维护和维修服务；（5）所购买的设备不零散采购，均为统一供应商供应。 6. 供货时限：签订合同后1个月内 7. 其他：技术交流联系人及电话：高老师，#

A#-电阻测量仪器

1. 采购名称：薄膜电阻测试仪系统 2. 采购标的需实现的主要功能或目标：主要用于表征和测试金属薄膜、介质膜等纳米级单层或多层功能膜和复合膜。其主要功能包括：（1）高真空环境：溅射室极限真空度：≤6.0x10-6 Pa (经烘烤除气后)； （2）四探针同步高精度测量。带温控的电阻测量系统，温度范围大于室温-80℃ （3）多靶位设计：配备三个靶，可实现多种材料的复合镀膜。尺寸为4英寸的样品可均镀膜，不均匀度为≤±5%（4）样品台可旋转和加热，确保镀膜的均匀性和附着力。 （5）自动化控制：系统采用PLC+嵌入一体式触摸屏工控机实现全自闭后环动控制方式，系统设有实验镀膜模式与全自动镀膜模式。 3. 采购数量：1套 4. 采购标的需满足的质量、安全等要求：符合国际标准，具备必要的安全认证。 5. 服务要求：（1）需提供厂家授权书和售后服务承诺书原件，保证服务12小时内响应，72小时内到达现场； （2）产品质保期为一年； （3）应配备正规厂家的品牌电脑及操作系统；（4）要求供应商或生产商负责免费送货上门、安装调试、原厂包装，定期维护和维修服务；（5）所购买的设备不零散采购，均为统一供应商供应。 6. 供货时限：签订合同后1个月内 7. 其他：技术交流联系人及电话：高老师，#