2024年10至11月政府采购意向-全自动紫外光刻机详细情况万元人民币
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2024年10至11月政府采购意向-全自动紫外光刻机详细情况万元人民币
| 全自动紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 全自动紫外光刻机 |
| 预算金额： | 600.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购全自动紫外光刻机1台套（含匀胶显影），8寸向下兼容，用于实现对衬底晶圆的曝光图形化，全自动实现机械手自动上下料，可针对硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃、石英等材质晶圆进行快速定位光刻。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 全自动紫外光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2024年10至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 全自动紫外光刻机 |
| 预算金额： | 600.(略)万元(人民币) |
| 采购品目： | A(略)其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购全自动紫外光刻机1台套（含匀胶显影），8寸向下兼容，用于实现对衬底晶圆的曝光图形化，全自动实现机械手自动上下料，可针对硅、碳化硅、蓝宝石、玻璃、石英等材质晶圆进行快速定位光刻。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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