2024年10至12月政府采购意向-亚10纳米超高精度电子束曝光系统详细情况万元人民币
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2024年10至12月政府采购意向-亚10纳米超高精度电子束曝光系统详细情况万元人民币
| 北京科技大学亚10纳米超高精度电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 北京科技大学亚10纳米超高精度电子束曝光系统 |
| 预算金额： | 1530.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 一、采购项目名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统 二、采购需求概况： （一）采购标的名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 该设备 (略) 微纳加工最核心的设备，加速电压可达50KV，可实现最小线宽为50 nm的精细结构加工，可实现自动聚焦等校准功能；实现自动套刻对准操作。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后14个月内交货，质保期自验收签字之日起12个月。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 三、预算金额：#元 四、预计采购时间：2024年11月 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 北京科技大学亚10纳米超高精度电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 北京科技大学亚10纳米超高精度电子束曝光系统 |
| 预算金额： | 1530.#万元(人民币) |
| 采购品目： | A#其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 一、采购项目名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统 二、采购需求概况： （一）采购标的名称：亚10纳米超高精度电子束曝光系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 该设备 (略) 微纳加工最核心的设备，加速电压可达50KV，可实现最小线宽为50 nm的精细结构加工，可实现自动聚焦等校准功能；实现自动套刻对准操作。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后14个月内交货，质保期自验收签字之日起12个月。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 三、预算金额：#元 四、预计采购时间：2024年11月 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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