2024年10至12月政府采购意向-步进式投影光刻系统详细情况万元人民币
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2024年10至12月政府采购意向-步进式投影光刻系统详细情况万元人民币
| 北京科技大学步进式投影光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 北京科技大学步进式投影光刻系统 |
| 预算金额： | 2700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 一、采购项目名称：步进式投影光刻系统 二、采购需求概况： （一）采购标的名称：步进式投影光刻系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 具备350 nm制程的光刻功能，可将掩膜 (略) 图案投影到涂覆光刻胶的晶圆上。采用步进式曝光方式，最小线宽（或曝光分辨率）350 nm以下，线宽均匀性50 nm以下，套刻精度70 nm以下，步进精度70 nm以下；兼容厚度350-1000 μm 的6/8英寸晶圆，支持Si、蓝宝石等多种衬底晶圆材料，支持6/8英寸晶圆快速切换，兼容2/4英寸套件；支持与涂胶显影机的在线连接，实现自动传片。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后18个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 三、预算金额：*元 四、预计采购时间：2024年11月 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
| 北京科技大学步进式投影光刻系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京科技大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京科技大学 |
| 采购项目名称： | 北京科技大学步进式投影光刻系统 |
| 预算金额： | 2700.*万元(人民币) |
| 采购品目： | A*其他仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 一、采购项目名称：步进式投影光刻系统 二、采购需求概况： （一）采购标的名称：步进式投影光刻系统 （二）采购标需实现的主要功能或者目标 具备350 nm制程的光刻功能，可将掩膜 (略) 图案投影到涂覆光刻胶的晶圆上。采用步进式曝光方式，最小线宽（或曝光分辨率）350 nm以下，线宽均匀性50 nm以下，套刻精度70 nm以下，步进精度70 nm以下；兼容厚度350-1000 μm 的6/8英寸晶圆，支持Si、蓝宝石等多种衬底晶圆材料，支持6/8英寸晶圆快速切换，兼容2/4英寸套件；支持与涂胶显影机的在线连接，实现自动传片。 （三）采购标的数量：1套 （四）采购标需满足的质量、服务、安全、时限等要求 合同签订并收到预付款或者LC后18个月内交货，自验收合格之日起质保期不少于一年。各项技术参数符合相关国家标准以及采购技术要求。须提供在售全新设备，不得为停产型号或翻新机。 三、预算金额：*元 四、预计采购时间：2024年11月 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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